CINDBEST CGO-4 | 2"~6" 高低温真空火狐体育app安卓版台火狐体育注册系统
特点/应用
◆ 2至6英寸样品台
◆ 高真空腔体
◆ 防辐射屏设计，样品温度均匀性更好
◆ 77K-675K高低温环境
◆ 兼容IV/CV/RF火狐体育注册
◆ 外置多火狐体育app安卓版臂，移动行程大
◆ 经济实用，可无缝升级
极低温火狐体育注册:
因为晶圆在低温大气环境火狐体育注册时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者火狐体育app安卓版无法接触电极而使火狐体育注册失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在火狐体育注册前用泵抽走，并且保持整个火狐体育注册过程泵的运转。
高温无氧化火狐体育注册：
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在火狐体育注册前用泵抽走，并且保持整个火狐体育注册过程泵的运转。
晶圆火狐体育注册过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的火狐体育app安卓版与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整火狐体育app安卓版的位置。
◆ 腔体规格：
型号
CGO-2/CGO-4/CGO-6
样品台尺寸
2英寸/4英寸/6英寸
样品固定
弹簧压片
观察窗口
2英寸/4英寸/6英寸
真空度
10-6torr
火狐体育app安卓版臂接口
4~6个火狐体育app安卓版臂接口
其他接口
电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口
制冷方式
液氮/液氦/制冷机
温度范围
77K到573K/4.5K到573K
温控精度
0.1K/0.01K/0.001K
稳定性
±1K/±0.1K/±0.01K
外形
880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高
重量
约100千克/120千克
◆ 光学系统：
显微镜类型
单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜
放大倍率
16X-200X/20X-4000X
移动行程
水平360度旋转，Z轴行程50.8mm
光源
外置LED环形光源/同轴光源
CCD
200万像素/500万像素/1200万像素
◆ 火狐体育app安卓版臂：
X-Y-Z移动行程
50mm*50mm*50mm
结构
外置火狐体育app安卓版臂，真空波纹管结构
移动精度
10微米/1微米
线缆
同轴线/三轴线/射频线
漏电精度
10pA/100fA/10fA
固定火狐体育app安卓版
弹簧固定/管状固定
接头类型
BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子
频率支持
DC-67GHZ
针尖直径
0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
◆ 其他组件：
真空组件
分子泵组/机械泵/离子泵
冷源组件
50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机
◆ 可选附件
超高温配件
显示器
转接头
射频火狐体育注册配件
屏蔽箱
光学平台
镀金卡盘
光电火狐体育注册配件
高压火狐体育注册配件
分子泵组
激光系统
气敏火狐体育注册配件
规格及设计如有更改，恕不另行通知。
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