火狐体育app安卓版台
  • CGO-高低温真空火狐体育app安卓版台

    温度范围77K-675K(液氮);

    可应用于真空及常规环境;

    超高温度分辨率;

    特殊客制低温系统;

    具有极高稳定性


  • 规格参数
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  • CINDBEST CGO-4 | 2"~6" 高低温真空火狐体育app安卓版台火狐体育注册系统



    特点/应用


    ◆ 2至6英寸样品台


    ◆ 高真空腔体


    ◆ 防辐射屏设计,样品温度均匀性更好


    ◆ 77K-675K高低温环境


    兼容IV/CV/RF火狐体育注册


    ◆ 外置多火狐体育app安卓版臂,移动行程大


    ◆ 经济实用,可无缝升级



    极低温火狐体育注册:

    因为晶圆在低温大气环境火狐体育注册时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者火狐体育app安卓版无法接触电极而使火狐体育注册失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在火狐体育注册前用泵抽走,并且保持整个火狐体育注册过程泵的运转。


    高温无氧化火狐体育注册:

    当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在火狐体育注册前用泵抽走,并且保持整个火狐体育注册过程泵的运转。

        晶圆火狐体育注册过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的火狐体育app安卓版与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整火狐体育app安卓版的位置。


    腔体规格:

    型号

    CGO-2/CGO-4/CGO-6

    样品台尺寸

    2英寸/4英寸/6英寸

    样品固定

    弹簧压片

    观察窗口

    2英寸/4英寸/6英寸

    真空度

    10-6torr

    火狐体育app安卓版臂接口

    4~6个火狐体育app安卓版臂接口

    其他接口

    电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口

    制冷方式

    液氮/液氦/制冷机

    温度范围

    77K到573K/4.5K到573K

    温控精度

    0.1K/0.01K/0.001K

    稳定性

    ±1K/±0.1K/±0.01K

    外形

    880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高

    重量

    约100千克/120千克


    光学系统:

    显微镜类型

    单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜

    放大倍率

    16X-200X/20X-4000X

    移动行程

    水平360度旋转,Z轴行程50.8mm

    光源

    外置LED环形光源/同轴光源

    CCD

    200万像素/500万像素/1200万像素


    火狐体育app安卓版臂:

    X-Y-Z移动行程

    50mm*50mm*50mm

    结构

    外置火狐体育app安卓版臂,真空波纹管结构

    移动精度

    10微米/1微米

    线缆

    同轴线/三轴线/射频线

    漏电精度

    10pA/100fA/10fA

    固定火狐体育app安卓版

    弹簧固定/管状固定

    接头类型

    BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

    频率支持

    DC-67GHZ

    针尖直径

    0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米


    其他组件:

    真空组件

    分子泵组/机械泵/离子泵

    冷源组件

    50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机


    可选附件

    超高温配件

    显示器

    转接头

    射频火狐体育注册配件

    屏蔽箱

    光学平台

    镀金卡盘

    光电火狐体育注册配件

    高压火狐体育注册配件

    分子泵组

    激光系统

    气敏火狐体育注册配件



    规格及设计如有更改,恕不另行通知。


    版权所有:深圳市森东宝科技有限公司


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