SuperView W1 1200光学3D表面轮廓仪

描述 SuperViewW11200光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。

SuperView W1 1100光学3D表面轮廓仪

SuperViewW11100光学3D表面轮廓仪是一款用于对精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。

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·图像传感器：500万像素CMOS ·视场：300×200mm ·重复精度：广视野：±1μm/±2μm，高精度±0.5μm/±1μm ·测量精度：无拼接±1μm*1，有拼接±(2+0.02L)μm*2 ·测量软件：VisionX ·显示分辨率：0.1μm ·X移动范围：100mm，座标台承重7.5㎏ ·Z向移

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图像传感器：1200万像素CMOS 透射系统：平行透过照明（白色） 视场：170×L120mm，200×150mm 工作距离：400mm 测量精度：±5μm*1 测量软件：VisionX 显示分辨率：0.1μm 载物台承重：5㎏ 外形尺寸（L×W×H）：750×550×2100mm

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